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TEM样品制备
发布时间:2019-08-21 15:17:32

单位名称:清华大学天津电子信息研究院

案例类型:支持企业创新、京津冀区域协作

服务名称TEM样品制备

使用仪器:聚焦离子束刻蚀FIB

服务单位:北京聚睿众邦科技有限公司

服务内容:

聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)是一种利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器,利用该设备为企业进行透射电子显微镜(TEM)测试样品的制备。

服务成效:

 北京聚睿众邦科技有限公司,是一家拥有中国科学院背景的,专业从事实验室共享与知识成果转化的国家高新技术企业。该企业需要采用球差校正透射电镜分析材料的晶体结构、原子结构、元素价态和成分分布,球差校正透射电镜测试对样品要求很高,企业没有制备高质量透射样品的能力。我院的聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM)配有气体注入系统和纳米机械手,可以进行高质量球差校正透射样品的制备,我院利用FIB-SEM将企业的样品厚度减薄至40nm以下,薄区面积可达6*6μm,损伤层可以控制在5nm以下,符合球差校正透射电镜测试的样品要求,使企业能够顺利的完成球差校正透射电镜测试,帮助企业完成研发项目,实现企业快速成长。




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